На тлі дедалі суворіших вимог до «нульового дефекту» у виробництві напівпровідників, 9-дюймові нітрилові рукавички Lijie з низьким вмістом хлору стали незамінним захисним спорядженням на етапах обробки пластин та упаковки мікросхем завдяки їх винятково низькому іонному залишку та високій чистоті. Завдяки спеціальній обробці вміст хлору в рукавичках суворо контролюється на рівні ≤50 ppm, що значно перевищує галузевий стандарт у 100 ppm. Це ефективно запобігає ризикам корозії, спричиненим міграцією іонів хлориду на поверхнях пластин, задовольняючи суворі вимоги виробництва напівпровідників щодо контролю мікроскопічного забруднення.
Під час літографічних процесів чистота рукавичок безпосередньо впливає на точність фоторезистного покриття та результати експозиції. Виготовлений у чистих приміщеннях класу 100 000 та пройшов лазерне видалення пилу, цей продукт демонструє емісію поверхневих частинок нижче 0,2 частинок/квадратний дюйм, що відповідає стандартам ISO для чистих приміщень класу 3. Це ефективно запобігає адгезії мікрочастинок до поверхонь пластин, тим самим зменшуючи дефекти літографії. Конструкція довжиною 9 дюймів забезпечує повне покриття від зап'ястя до долоні. У поєднанні з еластичною структурою манжети це забезпечує гнучкість експлуатації, ефективно запобігаючи осіданню пилу біля отвору рукавички, що відповідає суворим вимогам до динамічних чистих середовищ у літографічних процесах.
Під час процесів, що включають висококорозійні реагенти, такі як травлення та іонна імплантація, ці рукавички демонструють виняткову хімічну стійкість. Після 24-годинного випробування зануренням у звичайні напівпровідникові реагенти, такі як плавикова кислота та фосфорна кислота, вони не демонструють набухання чи розтріскування, а коефіцієнт зміни ваги становить менше 0,8%. Це забезпечує надійний захист рук операторів, одночасно усуваючи ризик забруднення реагентів внаслідок пошкодження рукавичок. Кінчики пальців мають лазерно вигравірувану протиковзку текстуру товщиною 0,02 мм, що збільшує тертя на 35% під час роботи з 12-дюймовими пластинами та зменшує ризик зісковзування пластини на 60%. Це забезпечує баланс між захисною безпекою та експлуатаційною стабільністю.
Ці рукавички, сертифіковані за стандартами SEMI F57, використовуються на лініях масового виробництва провідних ливарних заводів, включаючи SMIC та Hua Hong Semiconductor. Вони зменшують рівень браку пластин, спричинений контактом з руками, на 38%, що робить їх ідеальним вибором у виробництві напівпровідників для поєднання захисту чистих приміщень та операційної ефективності.
Час публікації: 11 листопада 2025 р.